半导体陶瓷机械手指

类型 配件
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产品详情

1.   陶瓷机械手臂又称末端执行器、陶瓷机械手等,主要在半导体设备中起到输送搬运的作用,它相当于半导体设备这个机器人的手,负责搬运晶圆硅晶片到指定位置。


2.   因为晶圆硅晶片在极其容易受到其他颗粒的污染,所以一般在真空环境下进行。在此环境下,大部分材料的机械手臂一般难以完成工作,制作机械手臂的材料需要耐高温、耐磨、并且硬度也需要很高。


3.   一般的陶瓷机械手臂有两种,一种是氧化铝陶瓷机械手臂,另一种是碳化硅陶瓷机械手臂。
氧化铝陶瓷和碳化硅陶瓷的都具备致密质、高硬度、高耐磨性的物理性质,以及良好的耐热性能、优良的机械强度、高温环境仍具有良好的绝缘性、良好的抗腐蚀性等物理性能,是用于制作半导体设备机械手臂的绝佳材料。