双束电镜（FIB-SEM）TESCAN SOLARIS

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型号 TESCAN SOLARIS

品牌 TESCAN

类型扫描电子显微镜

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产品详情

最先进的纳米加工能力，挑战样品制备质量的极限

TESCAN SOLARIS 是一款镓离子源的 FIB-SEM 系统，适用于超薄 TEM 样品制备和其它具有挑战性的纳米加工任务，这些任务要求设备具有最佳的分辨率、最先进的离子光学系统和最好的纳米加工能力。TESCAN SOLARIS 的 Triglav™ 型 SEM 镜筒具有超高的分辨率，特别是在低电压下；镜筒内探测器系统具有电子信号过滤能力，为获得更好的图像衬度和表面灵敏度翻开了全新的篇章。TESCAN SOLARIS 的 Orage™ 型 FIB 镜筒提供不仅为纳米加工提供了最佳的精度，还具备很高的离子束流，因此可以满足大体积加工和分析的需求。

是一款集成了电子束和离子束的电子显微镜系统。SEM 镜筒提供高分辨成像能力，FIB 镜筒能在成像的同时对样品进行加工处理。双束电镜系统开创了一种全新的应用方式，这是之前任何一个分立系统都无法完成的领域。

主要优势：

·世界一流的样品制备质量

它可以在低电压下完成最后抛光并获得小于 20 nm 且具有极高品质的超薄 TEM 样品。

·最大限度地制备各类样品

能够产生高达 100 nA 的离子束流，同时保证离子束的质量。因此，无论是在低离子束流下制备精密的纳米结构，还是利用高离子束流以满足大体积蚀刻的要求。

·具有极高品质的纳米加工

镜筒的最低电压可至 500 V，因此可以进行更微量的加工，方法同样适用于制备 EBSD 分析的样品、去层之后完成最终抛光的小于 20 nm 芯片的结构表征。

·更充分的利用离子束

可配备多达 3 支 OptiGIS。也可以选5 支同轴喷嘴的气体注入系统，实现不同的特殊气体和实用的平面IC去层方案。

·轻松实现最高精度和最佳 FIB 性能

FIB 镜筒配有超稳定的高压单元和精确的压电驱动光阑变换器。