• 1/1

晶圆等离子清洗机

分享
微信
QQ
复制链接
脸书
领英
品牌 第四纪
类型 清洗设备
13913180809
产品详情

产品用途：

主要针对 4英寸、6英寸、8英寸、12英寸晶圆的脱硫，清洗，修改。


产品特点：

  • 全自动拆卸和卸载

  • 腔室材料：陶瓷/陶瓷涂层。-衬垫：AL屏蔽装置（选项：自清洁）

  • 自动化类型：多轴向TR机器人

  • 系统控制： PC + PLC编程

  • 支持单/双load port