研磨抛光机

型号 DGP8761
品牌 DISCO迪斯科
类型 工业自动化设备
13913180809
产品参数
型号
DGP8761
品牌
DISCO迪斯科
类型
工业自动化设备
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产品详情

产品用途:

DGP8761是全球销售业绩突出的DGP8760的改良机型。通过背面研削到去除应力的一体化,可以稳定地实施厚度在25 μm以下的薄型化加工。搭载了新开发的主轴,适用于高速研削加工,有助于缩短薄型晶圆的加工时间(于DGP8760相比较)。另外,优化了搬运部机构的布局,缩短了加工以外的作业時間。


产品特点:

·应力释放(Stress Relief)

·超精密研削加工(特殊选项)

·利用第三主轴实现外质吸杂※的应用

·系统扩展功能

·维持与现有8000系列机型间的兼容性及零部件互换性