半导体/ FPD /工业检查显微镜

产品用途：

MX63和MX63L显微镜系统支持检测尺寸达300 毫米的晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其他样品的质量。这些符合人体工学设计的人性化系统采用模块化设计，可在各种应用中实现最佳观察条件。

产品特点：

•采用模块化设计，可在各种应用中实现最佳观察条件

•我们成熟可靠的光学器件和优良的成像技术可获得清晰图像，并完成可靠检测

•精确测量，自动校准

•可以选配晶圆自动搬送机 — AL120系统

•适合所有晶圆尺寸